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[交流]
ITO薄膜的结晶质量随着厚度的变化
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| 玻璃衬底上的ITO薄膜,直流磁控溅射的,厚度从30nm到270nm,这个结晶质量,晶格取向,结晶粒径的大小的变化趋势,会不会随着厚度的增加 出现两个晶格取向?结晶质量会随着两个晶格取向降低么?迁移率会不会随着结晶质量的下降而降低 |
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