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ITO薄膜的结晶质量随着厚度的变化
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| 玻璃衬底上的ITO薄膜，直流磁控溅射的，厚度从30nm到270nm，这个结晶质量，晶格取向，结晶粒径的大小的变化趋势，会不会随着厚度的增加 出现两个晶格取向？结晶质量会随着两个晶格取向降低么？迁移率会不会随着结晶质量的下降而降低 |
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