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光刻显影操作
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小mao同学
铁虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
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在线: 17.1小时
虫号: 4149467
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目前在做SU-8的光刻,用PGMEA显影。但是显影一直做不好,多次出现结构被洗掉的情况。
想请教,怎样把结构洗出来,充分显影。
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贪吃的小瓶儿
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1楼
2017-04-12 16:24:03
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贪吃的小瓶儿
新虫
(初入文坛)
应助: 2
(幼儿园)
金币: 1158.7
帖子: 31
在线: 8.8小时
虫号: 5491957
★
小mao同学(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
你用的是哪款SU8呢
曝光剂量多少?曝光时间多少?显影时间多少呢?如果需要的话可以写个实验报告,加上显微镜图片,发我邮箱,我来帮您看下,
zhaosp@rdmicro.com
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20楼
2017-04-12 16:32:19
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x小孩abc
2楼
2017-04-12 16:24
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璇妹儿
3楼
2017-04-12 16:24
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被风吹过
4楼
2017-04-12 16:24
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短腿小马
5楼
2017-04-12 16:24
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惹溪
6楼
2017-04-12 16:24
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如何下载电影
7楼
2017-04-12 16:24
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小熊哥哥大熊
8楼
2017-04-12 16:25
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江南的竹
9楼
2017-04-12 16:25
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Swannie
10楼
2017-04-12 16:25
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柳灵风听雨
11楼
2017-04-12 16:25
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莲花如梦
12楼
2017-04-12 16:25
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虚怀若谷99
13楼
2017-04-12 16:25
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思辰
14楼
2017-04-12 16:25
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