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小mao同学

铁虫 (初入文坛)


已领完
光刻显影操作
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目前在做SU-8的光刻,用PGMEA显影。但是显影一直做不好,多次出现结构被洗掉的情况。
想请教,怎样把结构洗出来,充分显影。

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我们自己用SU8都是很好的,具体的工艺你可以像研材微纳的技术组发邮件询问技术问题。
你这个不属于显影的问题,是SU8和衬底的粘附性不好,有很多必须的手段才能解决,而且要具体分析你遇到的情况是哪一种。
SU8这个胶非常敏感,不是很容易就能掌握的。
52楼2017-04-13 15:47:17
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贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)



小mao同学(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
你用的是哪款SU8呢
曝光剂量多少?曝光时间多少?显影时间多少呢?如果需要的话可以写个实验报告,加上显微镜图片,发我邮箱,我来帮您看下,zhaosp@rdmicro.com已获得1个金币

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20楼2017-04-12 16:32:19
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2017-04-12 16:24   回复  
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璇妹儿3楼
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思辰14楼
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