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小mao同学

铁虫 (初入文坛)
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光刻显影操作
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目前在做SU-8的光刻，用PGMEA显影。但是显影一直做不好，多次出现结构被洗掉的情况。
想请教，怎样把结构洗出来，充分显影。

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贪吃的小瓶儿

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1楼 2017-04-12 16:24:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们自己用SU8都是很好的，具体的工艺你可以像研材微纳的技术组发邮件询问技术问题。
你这个不属于显影的问题，是SU8和衬底的粘附性不好，有很多必须的手段才能解决，而且要具体分析你遇到的情况是哪一种。
SU8这个胶非常敏感，不是很容易就能掌握的。
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52楼2017-04-13 15:47:17
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贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)
★
小mao同学(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
你用的是哪款SU8呢
曝光剂量多少？曝光时间多少？显影时间多少呢？如果需要的话可以写个实验报告，加上显微镜图片，发我邮箱，我来帮您看下，zhaosp@rdmicro.com已获得1个金币

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20楼2017-04-12 16:32:19
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x小孩abc2楼
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Thomas_Lo45楼
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momabow48楼
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