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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 标准与规范 » help 磁控溅射操作问题
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卡住kobe

新虫 (初入文坛)

[交流] help 磁控溅射操作问题 已有4人参与

磁控溅射第一次可以抽真空，第二次机械泵抽到2pa,然后分子泵只能抽到0.39pa,不漏气，为什么？
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1楼 2017-04-11 21:28:21
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物理所大师兄

新虫 (初入文坛)
你们镀什么膜

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科学不会舍弃真诚爱它的人们
5楼2017-06-13 08:18:22
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Gavin6152

金虫 (小有名气)
★
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是不是真空计有问题？或者是电离规没开

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2楼2017-04-12 00:00:26
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mcldc

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
第一次真空多少？不漏气的情况 不应该啊 如果有polycold 建议打开 如果没有改善 应该是真空计不对 建议校准

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3楼2017-04-13 18:32:15
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gxmichael

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你怎么知道不漏气呢
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4楼2017-04-25 16:20:51
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