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卡住kobe

新虫 (初入文坛)

[交流] help 磁控溅射操作问题 已有4人参与

磁控溅射第一次可以抽真空,第二次机械泵抽到2pa,然后分子泵只能抽到0.39pa,不漏气,为什么?
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mcldc

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
第一次真空多少?不漏气的情况 不应该啊 如果有polycold 建议打开 如果没有改善 应该是真空计不对 建议校准

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-04-13 18:32:15
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Gavin6152

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是不是真空计有问题?或者是电离规没开

发自小木虫Android客户端
2楼2017-04-12 00:00:26
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gxmichael

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你怎么知道不漏气呢
4楼2017-04-25 16:20:51
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物理所大师兄

新虫 (初入文坛)

科学不会舍弃真诚爱它的人们
5楼2017-06-13 08:18:22
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