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AFM原子力显微镜
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yang8459002
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AFM原子力显微镜
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AFM原子力显微镜如何测薄膜厚度
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再见理想
1楼
2017-04-07 11:51:47
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hbc1234
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【答案】应助回帖
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薄膜生长的时候用夹片或者胶带之类的东西挡住基片的一部分,这样生长完的样品包括了裸露基片部分和薄膜部分。AFM扫描边界区域就能得到一个台阶,从而测出厚度。
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2楼
2017-04-08 15:08:52
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yang8459002
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2楼
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Originally posted by
hbc1234
at 2017-04-08 15:08:52
薄膜生长的时候用夹片或者胶带之类的东西挡住基片的一部分,这样生长完的样品包括了裸露基片部分和薄膜部分。AFM扫描边界区域就能得到一个台阶,从而测出厚度。
哦,原来是这样啊。可惜我长薄膜时没这样做
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再见理想
3楼
2017-04-10 09:51:56
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zhangxqustc
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如果薄膜和基底粘附力不强的话,用镊子轻轻划下,测凹槽深度…
发自小木虫IOS客户端
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永恒
4楼
2017-04-10 11:15:08
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yang8459002
银虫
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4楼
:
Originally posted by
zhangxqustc
at 2017-04-10 11:15:08
如果薄膜和基底粘附力不强的话,用镊子轻轻划下,测凹槽深度…
这样的话,不确定是否划透薄膜,或者划到基底。我用椭偏仪测了一下,但又不会拟合,师兄也不会。所以正在看手册。。。
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再见理想
5楼
2017-04-12 14:35:20
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