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yang8459002

银虫 (初入文坛)

[求助] AFM原子力显微镜 已有1人参与

AFM原子力显微镜如何测薄膜厚度
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再见理想
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yang8459002

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hbc1234 at 2017-04-08 15:08:52
薄膜生长的时候用夹片或者胶带之类的东西挡住基片的一部分,这样生长完的样品包括了裸露基片部分和薄膜部分。AFM扫描边界区域就能得到一个台阶,从而测出厚度。

哦,原来是这样啊。可惜我长薄膜时没这样做
再见理想
3楼2017-04-10 09:51:56
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄膜生长的时候用夹片或者胶带之类的东西挡住基片的一部分,这样生长完的样品包括了裸露基片部分和薄膜部分。AFM扫描边界区域就能得到一个台阶,从而测出厚度。
2楼2017-04-08 15:08:52
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zhangxqustc

铁虫 (正式写手)

如果薄膜和基底粘附力不强的话,用镊子轻轻划下,测凹槽深度…

发自小木虫IOS客户端
永恒
4楼2017-04-10 11:15:08
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yang8459002

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangxqustc at 2017-04-10 11:15:08
如果薄膜和基底粘附力不强的话,用镊子轻轻划下,测凹槽深度…

这样的话,不确定是否划透薄膜,或者划到基底。我用椭偏仪测了一下,但又不会拟合,师兄也不会。所以正在看手册。。。
再见理想
5楼2017-04-12 14:35:20
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