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ethan1129

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] XPS数据分析 已有1人参与

如题,材料为SiC单晶晶片,进行了XPS测试。在选用C 1s(284.6 eV)校准XPS数据时遇到了问题。当采用284.6eV校准时,Si-2p光谱中分峰后的结合能都无法与样品对应。
        想问一下:必须要用C 1s校准吗?因为我的样品是SiC,因此我觉得C 1s中最强峰是不是对应的是C-Si键啊?文献中报道的C-Si键位置在283.2 eV。因此能不能把不同元素的峰手动移动1.4 eV吗?
        着急,求大神科普!不胜感激。
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hxju

木虫 (小有名气)

对于导电性差,有荷电效应的样品是需要校准的,一般用污染C做内标。SiC不存在荷电效应,不需用校准。另外,SiC中的C不同于污染碳,校准到284.6也是不正确的。

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2楼2017-04-07 12:25:15
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ethan1129

铁杆木虫 (著名写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by hxju at 2017-04-07 12:25:15
对于导电性差,有荷电效应的样品是需要校准的,一般用污染C做内标。SiC不存在荷电效应,不需用校准。另外,SiC中的C不同于污染碳,校准到284.6也是不正确的。

谢谢你的答复。数据是实验员帮忙测的,发给我的时候就已经都把C1s的最强峰校准到284.6了,以至于结合能都对不上。C-Si结合能在282.4ev,我手动调回去试了一下,Si元素的峰也能对上。现在就想问一下我手动调回去对吗?sic中应该C-Si键最强吧,文献里对应282.6,但没说数据是怎么校准的。

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3楼2017-04-07 14:01:07
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ethan1129

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ethan1129 at 2017-04-07 14:01:07
谢谢你的答复。数据是实验员帮忙测的,发给我的时候就已经都把C1s的最强峰校准到284.6了,以至于结合能都对不上。C-Si结合能在282.4ev,我手动调回去试了一下,Si元素的峰也能对上。现在就想问一下我手动调回去对吗 ...

C-Si键文献里对应282.4

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4楼2017-04-07 14:01:42
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hxju

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ethan1129 at 2017-04-07 14:01:07
谢谢你的答复。数据是实验员帮忙测的,发给我的时候就已经都把C1s的最强峰校准到284.6了,以至于结合能都对不上。C-Si结合能在282.4ev,我手动调回去试了一下,Si元素的峰也能对上。现在就想问一下我手动调回去对吗 ...

最好问测试老师要原始数据,没有校准的。没有荷电,不需要校准的

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5楼2017-04-08 19:59:38
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