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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射制备的薄膜爆皮，脱落，不成型，是什么原因呢？
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zk035

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备的薄膜爆皮，脱落，不成型，是什么原因呢？ 已有1人参与

磁控溅射制备的薄膜爆皮，脱落，不成型，是什么原因呢？镀在玻璃衬底上，第一次镀的很好，但后来不知道何原因，总是爆皮
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薄膜制备与特性

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1楼 2017-04-01 14:25:59
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

应该是应力引起的，建议你薄膜生长完成后，原位退火，可以避免。
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2楼2017-04-05 08:23:44
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
玻璃没洗干净？也我可能像楼上说的有应力，需要退火

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3楼2017-04-05 17:11:58
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碧落清菡

新虫 (正式写手)
可以尝试衬底加热制备薄膜，或者改变溅射条件，调下压强

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4楼2017-04-07 16:20:16
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
范德华力，结合力不够

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5楼2017-05-11 08:46:20
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xjian2010

银虫 (正式写手)
是什么材料，跟温度关系不大。一般可能是你玻璃清洁有问题

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6楼2017-05-11 13:26:26
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-05-20 17:27:32
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子君一扬

铜虫 (初入文坛)
退火是一方面原因，还有可能是衬底清洗不够，沉积薄膜较厚

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8楼2017-05-27 12:50:40
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wanliyanhu

新虫 (正式写手)
退火方式导致的吧

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9楼2017-05-27 13:12:00
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bs2014baby

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 子君一扬 at 2017-05-27 12:50:40
退火是一方面原因，还有可能是衬底清洗不够，沉积薄膜较厚

薄膜沉积厚会导致脱落吗
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10楼2019-07-19 20:02:32
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