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磁控溅射制备的薄膜爆皮,脱落,不成型,是什么原因呢?
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zk035
铁虫
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磁控溅射制备的薄膜爆皮,脱落,不成型,是什么原因呢?
已有1人参与
磁控溅射制备的薄膜爆皮,脱落,不成型,是什么原因呢?镀在玻璃衬底上,第一次镀的很好,但后来不知道何原因,总是爆皮
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1楼
2017-04-01 14:25:59
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kangye_1989
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【答案】应助回帖
应该是应力引起的,建议你薄膜生长完成后,原位退火,可以避免。
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2楼
2017-04-05 08:23:44
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lvyiyilv
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
玻璃没洗干净?也我可能像楼上说的有应力,需要退火
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3楼
2017-04-05 17:11:58
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碧落清菡
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
可以尝试衬底加热制备薄膜,或者改变溅射条件,调下压强
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4楼
2017-04-07 16:20:16
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起名字真难诶
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专业: 光学
范德华力,结合力不够
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5楼
2017-05-11 08:46:20
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xjian2010
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专业: 无机非金属基复合材料
是什么材料,跟温度关系不大。一般可能是你玻璃清洁有问题
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6楼
2017-05-11 13:26:26
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091820053
禁虫
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7楼
2017-05-20 17:27:32
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子君一扬
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专业: 金属功能材料
退火是一方面原因,还有可能是衬底清洗不够,沉积薄膜较厚
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8楼
2017-05-27 12:50:40
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wanliyanhu
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专业: 无机非金属类光电信息与功
退火方式导致的吧
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9楼
2017-05-27 13:12:00
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bs2014baby
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引用回帖:
8楼
:
Originally posted by
子君一扬
at 2017-05-27 12:50:40
退火是一方面原因,还有可能是衬底清洗不够,沉积薄膜较厚
薄膜沉积厚会导致脱落吗
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10楼
2019-07-19 20:02:32
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