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zk035

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备的薄膜爆皮,脱落,不成型,是什么原因呢? 已有1人参与

磁控溅射制备的薄膜爆皮,脱落,不成型,是什么原因呢?镀在玻璃衬底上,第一次镀的很好,但后来不知道何原因,总是爆皮
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薄膜制备与特性

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

应该是应力引起的,建议你薄膜生长完成后,原位退火,可以避免。
2楼2017-04-05 08:23:44
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


玻璃没洗干净?也我可能像楼上说的有应力,需要退火

发自小木虫Android客户端
3楼2017-04-05 17:11:58
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碧落清菡

新虫 (正式写手)

可以尝试衬底加热制备薄膜,或者改变溅射条件,调下压强

发自小木虫Android客户端
4楼2017-04-07 16:20:16
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

5楼2017-05-11 08:46:20
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xjian2010

银虫 (正式写手)

是什么材料,跟温度关系不大。一般可能是你玻璃清洁有问题

发自小木虫Android客户端
6楼2017-05-11 13:26:26
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

7楼2017-05-20 17:27:32
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子君一扬

铜虫 (初入文坛)

退火是一方面原因,还有可能是衬底清洗不够,沉积薄膜较厚

发自小木虫Android客户端
8楼2017-05-27 12:50:40
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wanliyanhu

新虫 (正式写手)

9楼2017-05-27 13:12:00
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bs2014baby

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 子君一扬 at 2017-05-27 12:50:40
退火是一方面原因,还有可能是衬底清洗不够,沉积薄膜较厚

薄膜沉积厚会导致脱落吗
10楼2019-07-19 20:02:32
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