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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助几本有关GaAs为外延层 制造MOS器件工艺的书
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abczhang1989

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助几本有关GaAs为外延层 制造MOS器件工艺的书 已有1人参与

现在Si器件已经没什么意思了，小弟现在想用GaAs材料为外延层做VDMOS器件，求大神介绍几本相关制造工艺的书，越详细的越好！
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1楼 2017-04-01 10:27:50
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

书估计是没有的，工艺的话看看有没有相关文献报道吧，专利可以看看，但不能全信
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2楼2017-04-05 08:25:24
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哭哭闹闹

新虫 (著名写手)
有个上海技术物理研究所杨建荣老师出版了一本《HgCdTe什么什么》的书，也许你可以参考下

发自小木虫IOS客户端
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3楼2017-10-25 00:55:04
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