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abczhang1989

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 求助几本有关GaAs为外延层 制造MOS器件工艺的书已有1人参与

现在Si器件已经没什么意思了,小弟现在想用GaAs材料为外延层做VDMOS器件,求大神介绍几本相关制造工艺的书,越详细的越好!
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

书估计是没有的,工艺的话看看有没有相关文献报道吧,专利可以看看,但不能全信
2楼2017-04-05 08:25:24
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哭哭闹闹

新虫 (著名写手)

有个上海技术物理研究所杨建荣老师出版了一本《HgCdTe什么什么》的书,也许你可以参考下

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-10-25 00:55:04
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