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pld制备薄膜的成分问题
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最近实验室购买了一套pld（脉冲激光沉积）系统，目前在试材料的成膜参数。按照文献里的说法，激光能量需要超过一定的阈值才能够保证膜的成分比与靶相同。我试了两种材料，GeTe和GeSe，靶材的原子比都是1:1，不同激光能量成膜成分比如下图： 从edx测的成分比来看，激光能量越高，反而越偏离1:1了。 请问有没有比较熟悉pld工艺的虫友帮忙解释一下，为什么我沉积的膜无法保持靶的成分比 or 怎样才能保持成分比？谢谢！满意答案另外送50金币~~ |
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13楼2017-04-12 11:07:10
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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14楼2017-05-17 21:39:29
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yuyuewen3楼
2017-03-24 11:02
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我有高尚情操4楼
2017-03-24 11:03
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learnwthink(金币+4): 谢谢参与
nk 发自小木虫Android客户端
xjd20145楼
2017-03-24 11:16
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cui79228050710楼
2017-03-24 11:39
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追风少年201712楼
2017-03-24 19:06
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2017-03-24 11:19
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