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learnwthink

铜虫 (小有名气)


[交流] pld制备薄膜的成分问题

最近实验室购买了一套pld(脉冲激光沉积)系统,目前在试材料的成膜参数。按照文献里的说法,激光能量需要超过一定的阈值才能够保证膜的成分比与靶相同。我试了两种材料,GeTe和GeSe,靶材的原子比都是1:1,不同激光能量成膜成分比如下图:
                             pld制备薄膜的成分问题
       从edx测的成分比来看,激光能量越高,反而越偏离1:1了。
       请问有没有比较熟悉pld工艺的虫友帮忙解释一下,为什么我沉积的膜无法保持靶的成分比 or 怎样才能保持成分比?谢谢!满意答案另外送50金币~~
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kevin123581

金虫 (正式写手)



learnwthink(金币+1): 谢谢参与
激光能量过大会把某些材料直接挥发掉造成氧空位什么的,结构有变化,很多情况是这些原因。 你试下调整基底温度,气氛什么的试下看看
13楼2017-04-12 11:07:10
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091820053

禁虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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14楼2017-05-17 21:39:29
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wangyong832

银虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
保持靶材原子比是相对的。元素的vapor pressure也需要考虑

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15楼2019-09-19 18:36:41
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tan9142楼
2017-03-24 10:44   回复  
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yuyuewen3楼
2017-03-24 11:02   回复  
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2017-03-24 11:03   回复  
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nk 发自小木虫Android客户端
xjd20145楼
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4189269168楼
2017-03-24 11:19   回复  
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2852465369楼
2017-03-24 11:36   回复  
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2017-03-24 11:39   回复  
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祝福 发自小木虫Android客户端
nono200911楼
2017-03-24 11:54   回复  
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2017-03-24 19:06   回复  
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