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learnwthink

铜虫 (小有名气)

[交流] pld制备薄膜的成分问题

最近实验室购买了一套pld（脉冲激光沉积）系统，目前在试材料的成膜参数。按照文献里的说法，激光能量需要超过一定的阈值才能够保证膜的成分比与靶相同。我试了两种材料，GeTe和GeSe，靶材的原子比都是1:1，不同激光能量成膜成分比如下图：
                             pld制备薄膜的成分问题
       从edx测的成分比来看，激光能量越高，反而越偏离1:1了。
       请问有没有比较熟悉pld工艺的虫友帮忙解释一下，为什么我沉积的膜无法保持靶的成分比 or 怎样才能保持成分比？谢谢！满意答案另外送50金币~~
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1楼 2017-03-24 10:37:05
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kevin123581

金虫 (正式写手)
★
learnwthink(金币+1): 谢谢参与
激光能量过大会把某些材料直接挥发掉造成氧空位什么的，结构有变化，很多情况是这些原因。 你试下调整基底温度，气氛什么的试下看看
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13楼2017-04-12 11:07:10
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
14楼2017-05-17 21:39:29
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wangyong832

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
保持靶材原子比是相对的。元素的vapor pressure也需要考虑

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15楼2019-09-19 18:36:41
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tan9142楼
2017-03-24 10:44   回复  
learnwthink(金币+4): 谢谢参与
yuyuewen3楼
2017-03-24 11:02   回复  
learnwthink(金币+4): 谢谢参与
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我有高尚情操4楼
2017-03-24 11:03   回复  
learnwthink(金币+4): 谢谢参与
nk 发自小木虫Android客户端
xjd20145楼
2017-03-24 11:16   回复  
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纳米材料7536楼
2017-03-24 11:16   回复  
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guanlianwu7楼
2017-03-24 11:18   回复  
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4189269168楼
2017-03-24 11:19   回复  
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2852465369楼
2017-03-24 11:36   回复  
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cui79228050710楼
2017-03-24 11:39   回复  
learnwthink(金币+4): 谢谢参与
祝福 发自小木虫Android客户端
nono200911楼
2017-03-24 11:54   回复  
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追风少年201712楼
2017-03-24 19:06   回复  
learnwthink(金币+4): 谢谢参与
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