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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于石墨烯转移PMMA去除问题已有3人参与

Ar/O2 at 500 °C proves to be the best heat treatment for removing the PMMA contaminants introduced during BN transfer

这篇文献里对比了各种PMMA去除方法 最后得到结论上述为最佳, 请问通入Ar/O2以及升温到500摄氏度的原理是什么 如何解释呢 请教大神

关于石墨烯转移PMMA去除问题
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梦想村庄

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 18051208096 at 2017-05-17 18:37:54
这个目的应该是PMMA分解。其实氢气最好,另外500℃觉得有点高了。但是退火去除PMMA,也是会有残留的,而且出现石墨烯缺陷峰,有文章解释过这个问题

能有纯氩气吗?
5楼2017-05-18 15:33:57
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查看全部 6 个回答

Alice_rong

银虫 (初入文坛)

生成Plasma对PMMA进行干法刻蚀 PMMA属于高分子材料 加入O2干法刻蚀形成CO2、H2O(气)。对于石墨烯更建议用H2作为PMMA去除的反应气体

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-03-22 20:54:01
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18051208096

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个目的应该是PMMA分解。其实氢气最好,另外500℃觉得有点高了。但是退火去除PMMA,也是会有残留的,而且出现石墨烯缺陷峰,有文章解释过这个问题
初衷勿忘
3楼2017-05-17 18:37:54
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zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个是给BN用的,BN号称900度空气氧化都没事
劣质反应釜。。。
4楼2017-05-18 09:45:04
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