24小时热门版块排行榜    

查看: 2403  |  回复: 5

zdj419438797

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于石墨烯转移PMMA去除问题 已有3人参与

Ar/O2 at 500 °C proves to be the best heat treatment for removing the PMMA contaminants introduced during BN transfer

这篇文献里对比了各种PMMA去除方法 最后得到结论上述为最佳, 请问通入Ar/O2以及升温到500摄氏度的原理是什么 如何解释呢 请教大神

关于石墨烯转移PMMA去除问题
图片1.png
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)

生成Plasma对PMMA进行干法刻蚀 PMMA属于高分子材料 加入O2干法刻蚀形成CO2、H2O(气)。对于石墨烯更建议用H2作为PMMA去除的反应气体

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-03-22 20:54:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18051208096

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个目的应该是PMMA分解。其实氢气最好,另外500℃觉得有点高了。但是退火去除PMMA,也是会有残留的,而且出现石墨烯缺陷峰,有文章解释过这个问题
初衷勿忘
3楼2017-05-17 18:37:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个是给BN用的,BN号称900度空气氧化都没事
劣质反应釜。。。
4楼2017-05-18 09:45:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦想村庄

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 18051208096 at 2017-05-17 18:37:54
这个目的应该是PMMA分解。其实氢气最好,另外500℃觉得有点高了。但是退火去除PMMA,也是会有残留的,而且出现石墨烯缺陷峰,有文章解释过这个问题

能有纯氩气吗?
5楼2017-05-18 15:33:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

也许、明天

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这本来就一直是个难题,而且此处的Ar/O2并不适合石墨烯,会被刻蚀,文章中大多都有提到自己的方法最好,但是却都很一般,局部区域会发现较好的效果,但是每批次样品都参差不齐。PMMA去除,可以先从源头想办法,其实PC是个选择(Role of Graphene in Water-Assisted Oxidation of Copper in Relation to Dry Transfer of Graphene. Chemistry of Materials, 2017.),去除效果比PMMA要好。其次,如果要用PMMA可以选用分子量小的PMMA自己去配置(不同浓度),这样转移后更容易去除。再有PMMA可以用稍微加热的丙酮处理(50-80度为宜)。至于转移完后的PMMA residues的处理,石墨烯还是推荐在Ar/H2混合气进行处理,减少对石墨稀的破坏。
6楼2017-05-19 10:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zdj419438797 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +6 梨花珞晚风 2026-03-17 6/300 2026-03-21 03:40 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 354求调剂 +5 Tyoumou 2026-03-18 8/400 2026-03-21 00:35 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 324求调剂 +5 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 5/250 2026-03-20 22:30 by 促天成
[考研] 求调剂 +5 Mqqqqqq 2026-03-19 5/250 2026-03-20 20:46 by zhukairuo
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工专硕调剂 +7 heming3743 2026-03-16 7/350 2026-03-20 19:31 by zhukairuo
[考研] 08工学调剂 +5 用户573181 2026-03-20 5/250 2026-03-20 15:47 by xia_2003
[考研] 0856调剂,是学校就去 +8 sllhht 2026-03-19 9/450 2026-03-20 14:25 by 无懈可击111
[考研] 081700化工学硕调剂 +3 【1】 2026-03-16 3/150 2026-03-19 23:40 by edmund7
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +10 慕寒mio 2026-03-16 10/500 2026-03-19 15:26 by 丁丁*
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 10/500 2026-03-19 14:31 by lemonzzn
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +10 Liwangman 2026-03-15 10/500 2026-03-19 10:25 by 无际的草原
[考研] 本科郑州大学物理学院,一志愿华科070200学硕,346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 0854可跨调剂,一作一项核心论文五项专利,省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
信息提示
请填处理意见