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BONES_

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 请问磁控溅射的射频电源辐射是不是特别大啊？已有3人参与

刚进实验室，听说射频电源有很大辐射，我们镀膜一呆就是6 7个小时，表示很担忧辐射的危害啊。请各位师兄师姐解答一下

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1楼 2017-03-22 13:05:35

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
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虫号: 1370716
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性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

【答案】应助回帖

首先电源存在辐射是肯定的，尤其是射频电源，辐射尤其注意。
不过也别谈蛇色变，关键是合理应用：
1. 选用进口电源，射频这块国内差距还是很大，有实力选AE的；
2. 电源及匹配箱及与阴极之间的连线都要做好屏蔽，别暴露出来；
3. 电源匹配过程是最大辐射泄露的时候，因为匹配不好，反射功率高就意味着反射越高；
4. 如果近期打算要生baby，最好原理射频。。。

国内的射频电源，反射功率2%以下都算好的，而国外电源能控制在1W以下，差距还是比较大的，再次建议购买进口产品，以上。