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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 请问磁控溅射的射频电源辐射是不是特别大啊？
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BONES_

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射的射频电源辐射是不是特别大啊？ 已有3人参与

刚进实验室，听说射频电源有很大辐射，我们镀膜一呆就是6 7个小时，表示很担忧辐射的危害啊。请各位师兄师姐解答一下

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1楼 2017-03-22 13:05:35
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BONES_

新虫 (初入文坛)
求助求助

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2楼2017-03-28 10:42:45
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sun346727296

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

就是，我用的机器辐射就很大的。
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3楼2017-03-28 16:58:05
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Tammy1993

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

当然辐射很大了，我们实验室就是做的那个，启辉发出的光都最好不要直视，而且要远离，不然会很伤眼睛
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4楼2017-03-31 21:17:36
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
匹配的时候是有点辐射，具体多少，不清楚
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QQ：1723046531
5楼2017-09-29 11:05:06
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

首先电源存在辐射是肯定的，尤其是射频电源，辐射尤其注意。
不过也别谈蛇色变，关键是合理应用：
1. 选用进口电源，射频这块国内差距还是很大，有实力选AE的；
2. 电源及匹配箱及与阴极之间的连线都要做好屏蔽，别暴露出来；
3. 电源匹配过程是最大辐射泄露的时候，因为匹配不好，反射功率高就意味着反射越高；
4. 如果近期打算要生baby，最好原理射频。。。


国内的射频电源，反射功率2%以下都算好的，而国外电源能控制在1W以下，差距还是比较大的，再次建议购买进口产品，以上。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2017-12-04 18:00:59
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Dongdeduoa

新虫 (初入文坛)
讲真，辐射肯定有。但是对人不好的应该是低频电磁辐射。射频肯定有，但是鼓励影响不大。

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7楼2018-01-10 17:32:14
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