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BONES_

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射的射频电源辐射是不是特别大啊? 已有3人参与

刚进实验室,听说射频电源有很大辐射,我们镀膜一呆就是6 7个小时,表示很担忧辐射的危害啊。请各位师兄师姐解答一下

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BONES_

新虫 (初入文坛)

2楼2017-03-28 10:42:45
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sun346727296

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

就是,我用的机器辐射就很大的。
3楼2017-03-28 16:58:05
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Tammy1993

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

当然辐射很大了,我们实验室就是做的那个,启辉发出的光都最好不要直视,而且要远离,不然会很伤眼睛
4楼2017-03-31 21:17:36
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

匹配的时候是有点辐射,具体多少,不清楚
QQ:1723046531
5楼2017-09-29 11:05:06
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

首先电源存在辐射是肯定的,尤其是射频电源,辐射尤其注意。
不过也别谈蛇色变,关键是合理应用:
1. 选用进口电源,射频这块国内差距还是很大,有实力选AE的;
2. 电源及匹配箱及与阴极之间的连线都要做好屏蔽,别暴露出来;
3. 电源匹配过程是最大辐射泄露的时候,因为匹配不好,反射功率高就意味着反射越高;
4. 如果近期打算要生baby,最好原理射频。。。


国内的射频电源,反射功率2%以下都算好的,而国外电源能控制在1W以下,差距还是比较大的,再次建议购买进口产品,以上。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
6楼2017-12-04 18:00:59
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Dongdeduoa

新虫 (初入文坛)

讲真,辐射肯定有。但是对人不好的应该是低频电磁辐射。射频肯定有,但是鼓励影响不大。

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7楼2018-01-10 17:32:14
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