| 查看: 2229 | 回复: 10 | ||||
vendor2014铜虫 (初入文坛)
|
[交流]
磁性材料溅射无法成膜 已有3人参与
|
|||
|
朋友们好， 有没有人目前做磁性材料的磁控溅射的， 目前用永磁靶来溅射镍还有镍铁合金， 溅射镍的时候起辉亮度跟非磁性金属材料感觉没有什么不同。就是成膜慢， 但是溅镀镍铁的时候起辉的亮度明显较暗，溅射了1个小时左右，膜层几乎没有。 找过论坛里其他前辈的相关帖子， 说是铁的导磁率高，但如果换上更强的强磁铁的话，或者换上电磁靶， 溅射出来的镍还有铁原子会不会更容易受强磁力影响？反而削弱沉积时的动能呢？ 希望有做过磁性材料溅射的朋友交流下。 谢谢了。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有94人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
Holly2012
木虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2185.6
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 110.3小时
- 虫号: 2418370
- 注册: 2013-04-15
- 性别: GG
- 专业: 纤维
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
这一方面了解不多，但对于您说的磁性金属合金无法形成膜层问题，或许是因为非磁性金属材料溅射时，材料原子从靶材脱离，受电场的作用溅射出去，从而在目标区域成膜；而磁性材料，溅射时金属原子定向移动，形成磁场，导致其不按原定路径堆积，无法在目标区域成膜。解决方法：首先，确认磁性材料是否溅射出去，可通过长时间溅射前后靶材的重量差；其次，观察磁性材料到底溅射到哪里了，不在目标区域，或许由在磁场作用，它溅射到其他地方了。 不专业的回答，仅供您参考，希望对您有用！ |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
vendor20142楼2017-03-19 10:48:42
焊工
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3561.2
- 红花: 2
- 帖子: 565
- 在线: 683.8小时
- 虫号: 240778
- 注册: 2006-04-09
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2017-03-20 11:58:05
qin1992
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1855.2
- 散金: 100
- 红花: 6
- 帖子: 217
- 在线: 140.3小时
- 虫号: 5226042
- 注册: 2016-11-11
- 专业: 金属基复合材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
用永磁靶溅射铁靶材的效果不好，磁场弱，不容易无法溅射和起辉，磁控溅射的溅射动能是受磁场加速轰击靶材的气体原子给予的，如果磁场太小，平均自由程也会受到影响，溅射的过程就像哈气一样，无法顺利成膜。 发自小木虫Android客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
3楼2017-03-19 11:25:34
焊工
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3561.2
- 红花: 2
- 帖子: 565
- 在线: 683.8小时
- 虫号: 240778
- 注册: 2006-04-09
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
9楼2017-03-21 09:31:22
vendor2014
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 35
- 在线: 15.8小时
- 虫号: 3441963
- 注册: 2014-09-26
- 专业: 极端条件下使用的金属材料
。 4楼2017-03-19 12:45:15
vendor2014
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 35
- 在线: 15.8小时
- 虫号: 3441963
- 注册: 2014-09-26
- 专业: 极端条件下使用的金属材料
5楼2017-03-19 12:49:52
vendor2014
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 35
- 在线: 15.8小时
- 虫号: 3441963
- 注册: 2014-09-26
- 专业: 极端条件下使用的金属材料
7楼2017-03-21 01:55:43
qin1992
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1855.2
- 散金: 100
- 红花: 6
- 帖子: 217
- 在线: 140.3小时
- 虫号: 5226042
- 注册: 2016-11-11
- 专业: 金属基复合材料
8楼2017-03-21 02:36:31
vendor2014
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 35
- 在线: 15.8小时
- 虫号: 3441963
- 注册: 2014-09-26
- 专业: 极端条件下使用的金属材料
10楼2017-03-21 09:44:29
