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氮化硅的杂质检测 已有1人参与
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现有电感耦合等离子体光谱仪(ICP),想测试杂质含量,但氮化硅需要用氢氟酸来溶解,氢氟酸会对仪器的主要部件腐蚀。请问各位有没有更好的测试方法?现在试过用XRF测试,但是压片压不了,氮化硅粉末太细了。 发自小木虫Android客户端 |
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