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请问半导体薄膜质量包括哪几个方面？晶体质量和结晶质量一样吗 已有1人参与
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| 如题，有没有大神能够分析一下说明半导体结构质量好的几个方面？我知道XRD半高宽确定晶体质量，还有没有其他类似的？谢谢 |
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dazhuang16 
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