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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 电工材料 » 请问半导体薄膜质量包括哪几个方面？晶体质量和结晶质量一样吗
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xiehao123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问半导体薄膜质量包括哪几个方面？晶体质量和结晶质量一样吗 已有1人参与

如题，有没有大神能够分析一下说明半导体结构质量好的几个方面？我知道XRD半高宽确定晶体质量，还有没有其他类似的？谢谢
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1楼 2017-03-13 16:37:41
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dazhuang16

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄膜表面平整、界面清晰都是薄膜质量好的表现。
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2楼2017-03-14 22:11:20
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