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请问半导体薄膜质量包括哪几个方面?晶体质量和结晶质量一样吗 已有1人参与
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| 如题,有没有大神能够分析一下说明半导体结构质量好的几个方面?我知道XRD半高宽确定晶体质量,还有没有其他类似的?谢谢 |
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dazhuang16
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