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yang12银虫 (小有名气)
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[求助]
光刻lift-off 已有3人参与
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| 新手第一次做正胶的剥离。用的是AZ5214E光刻胶，没有反转。显影坚膜后，进行的热蒸镀，镀了30nm的Cr和10nm的金。求助剥离应该怎么做？目前没有专用的剥离液，可以用的是丙酮。谢谢各位！ |
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5楼2017-03-10 15:25:25
daerbeijita
铁杆木虫 (正式写手)
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2楼2017-03-09 20:47:44
yang12
银虫 (小有名气)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2017-03-09 23:14:12
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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4楼2017-03-10 12:38:39
