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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻lift-off
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yang12

银虫 (小有名气)

[求助] 光刻lift-off 已有3人参与

新手第一次做正胶的剥离。用的是AZ5214E光刻胶，没有反转。显影坚膜后，进行的热蒸镀，镀了30nm的Cr和10nm的金。求助剥离应该怎么做？目前没有专用的剥离液，可以用的是丙酮。谢谢各位！
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1楼 2017-03-09 15:51:33
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
丙酮小功率超声即可，要lift off 的话可以不用坚膜

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**尚未成功，同志仍需努力
2楼2017-03-09 20:47:44
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yang12

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by daerbeijita at 2017-03-09 20:47:44
丙酮小功率超声即可，要lift off 的话可以不用坚膜

谢谢，超声大概洗多久呀？我提前用了一片只镀了Cr的片子放在丙酮里超声洗了5min，有的地方的光刻胶没有洗掉。

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3楼2017-03-09 23:14:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yang12: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-04-11 14:57:24
不做反转很难洗掉的。光刻胶表面肯定覆盖了。超声不管用的话，除非用高压水枪去冲洗击碎光刻胶表面的金属膜，才又可能泡得掉。
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4楼2017-03-10 12:38:39
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cityhk

新虫 (小有名气)
唔，5214放在丙酮里泡着，半小时到一个小时就完全没有了。
我做电极一直用5214的，没啥问题
超声容易破坏结构

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5楼2017-03-10 15:25:25
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yang12: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-04-11 14:57:59
坚膜既是有也不能太强，要不然会增加去胶的难度的
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6楼2017-03-12 14:42:33
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
yang12: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-04-11 14:57:52
建议题注可试一下用细针管吸取丙酮后然后冲需要剥离的地方，会冲掉一些，但是也不能去干净。如果用超声的话请注意超声功率。
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积极工作！！！
7楼2017-03-12 19:57:44
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温馨妹

新虫 (小有名气)
我司生产剥离液和光刻胶 需要联系

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8楼2017-03-23 15:52:23
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天迅

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by cityhk at 2017-03-10 15:25:25
唔，5214放在丙酮里泡着，半小时到一个小时就完全没有了。
我做电极一直用5214的，没啥问题
超声容易破坏结构

能不能请问您的转速是多少，电极是什么，多谢啦
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9楼2018-05-16 15:33:52
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chichister

金虫 (正式写手)
你的金属总共才40nm，用丙酮长时间浸泡应该可以去除，最好用丙酮喷枪，这个很容易在短时间去除。做lift-off最好用负胶，不过也要看你做的图形的尺寸，5214转速5000rpm，胶厚能做到1.4um左右，利用负胶lift-off，金属厚度不超过300nm，都应该比较好去除。
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似水流年等闲过...
10楼2018-05-17 16:47:14
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