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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】外延薄膜部分发白为啥
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】外延薄膜部分发白为啥

用mocvd在蓝宝石衬底上外延ZnO:Ga，期望得到透明导电膜，但为什么靠近托盘中心部分的薄膜发白呢？其中前驱气体从托盘正上方流入。希望有经验的人传授下解决办法
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1楼 2008-12-24 11:05:59
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yangfanemily

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
zhuzhen(金币+3,VIP+0):晚了点，xx 8-20 10:17
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
是不是因为长得快呢，减小流量试试
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2楼2009-08-20 10:09:08
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
引用回帖:
Originally posted by zhuzhen at 2008-12-24 11:05:
用mocvd在蓝宝石衬底上外延ZnO:Ga，期望得到透明导电膜，但为什么靠近托盘中心部分的薄膜发白呢？其中前驱气体从托盘正上方流入。希望有经验的人传授下解决办法

可能与你的生长温度有关，温度效应是你的材料中某些元素析出，如果你的真空系统是干净的话
赞一下(10人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
3楼2009-08-20 17:15:35
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
应该是中间长厚了，成分与边缘也不同。
赞一下(10人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-08-20 18:51:46
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