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【求助】外延薄膜部分发白为啥
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| 用mocvd在蓝宝石衬底上外延ZnO:Ga，期望得到透明导电膜，但为什么靠近托盘中心部分的薄膜发白呢？其中前驱气体从托盘正上方流入。希望有经验的人传授下解决办法 |
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2楼2009-08-20 10:09:08
yjyang07
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