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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】外延薄膜部分发白为啥

用mocvd在蓝宝石衬底上外延ZnO:Ga,期望得到透明导电膜,但为什么靠近托盘中心部分的薄膜发白呢?其中前驱气体从托盘正上方流入。希望有经验的人传授下解决办法
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yangfanemily

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
zhuzhen(金币+3,VIP+0):晚了点,xx 8-20 10:17
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
是不是因为长得快呢,减小流量试试
2楼2009-08-20 10:09:08
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yjyang07

木虫 (著名写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
引用回帖:
Originally posted by zhuzhen at 2008-12-24 11:05:
用mocvd在蓝宝石衬底上外延ZnO:Ga,期望得到透明导电膜,但为什么靠近托盘中心部分的薄膜发白呢?其中前驱气体从托盘正上方流入。希望有经验的人传授下解决办法

可能与你的生长温度有关,温度效应是你的材料中某些元素析出,如果你的真空系统是干净的话
天行健,君子以自强不息~~~~~
3楼2009-08-20 17:15:35
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 15:44
应该是中间长厚了,成分与边缘也不同。
没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-08-20 18:51:46
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