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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 原子层沉积制备AZO的工艺调控
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乙烯哥

铜虫 (小有名气)

[交流] 原子层沉积制备AZO的工艺调控 已有4人参与

最近在不同的衬底上用ALD生长AZO的薄膜，想试图通过调整ALD的工艺参数来提升AZO的导电性。

目前对与生长温度、衬底、源的选用、源的脉冲顺序以基脉冲循环比的研究都比较多。

诸位有对ALD脉冲时间对生长的影响比较了解吗？

大家出来交流一下呀！
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人生如逆旅 我亦是行人
1楼 2017-03-01 19:46:23
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chengkeji

新虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，我是一名研二的学生，请问你们那可以用ALD的方法沉积铂Pt吗？谢谢
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2楼2017-03-31 10:15:29
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光棍9527

新虫 (小有名气)
可以交流下

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3楼2017-12-27 22:13:56
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by chengkeji at 2017-03-31 10:15:29
你好，我是一名研二的学生，请问你们那可以用ALD的方法沉积铂Pt吗？谢谢

可以用ALD沉积铂的，但是铂源很贵
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4楼2017-12-29 16:14:17
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babamy

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
沉积金属对于设备要求更高，一般设备都做不了。
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babamy@gmail.com
5楼2018-05-11 15:02:04
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小目蟲

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chengkeji at 2017-03-31 10:15:29
你好，我是一名研二的学生，请问你们那可以用ALD的方法沉积铂Pt吗？谢谢

我们这里可以哟

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6楼2019-05-08 09:58:32
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小目蟲

新虫 (初入文坛)
哪个课题组啊

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7楼2019-05-08 09:59:12
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