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倦书徐行

银虫 (小有名气)

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[求助] 求助在氧化硅上溅射铂薄膜的各种

求助各位虫友，小弟想在氧化硅上溅射铂薄膜，之后再光刻刻蚀出电阻条。

请问铂的溅射参数是多少？用什么方法刻蚀比较好？

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1楼 2017-02-28 15:29:03

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