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求助在氧化硅上溅射铂薄膜的各种
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求助各位虫友，小弟想在氧化硅上溅射铂薄膜，之后再光刻刻蚀出电阻条。 请问铂的溅射参数是多少？用什么方法刻蚀比较好？ |
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