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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)

[求助] 现在的干法刻蚀的粗糙度能达到多少?刻蚀深度能达到多少? 已有2人参与

现在的干法刻蚀的粗糙度能达到多少?最大刻蚀深度能达到多少?
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总会遇到对的人
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们目前做到200微米左右深
3楼2017-02-27 13:39:09
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2楼2017-02-24 20:47:10
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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by perry_ping at 2017-02-27 13:39:09
我们目前做到200微米左右深

粗糙度大概能达到什么程度
总会遇到对的人
4楼2017-02-28 09:58:07
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

干法刻蚀看刻什么材料。单晶硅,可以刻mm级的深度,粗糙度10nm以下。
其它材料,像石英,玻璃等到,刻10um以上就有很大难度了,粗糙度也在几十nm的水平。
5楼2017-02-28 15:20:21
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