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猪猪爱吃奶糖

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[求助] 现在的干法刻蚀的粗糙度能达到多少？刻蚀深度能达到多少？已有2人参与

现在的干法刻蚀的粗糙度能达到多少？最大刻蚀深度能达到多少？

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总会遇到对的人

1楼 2017-02-24 19:29:05

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dezhuli

c

发自小木虫Android客户端

2楼2017-02-24 20:47:10

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perry_ping

新虫 (职业作家)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

我们目前做到200微米左右深

3楼2017-02-27 13:39:09

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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by perry_ping at 2017-02-27 13:39:09
我们目前做到200微米左右深

粗糙度大概能达到什么程度

总会遇到对的人

4楼2017-02-28 09:58:07

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

干法刻蚀看刻什么材料。单晶硅，可以刻mm级的深度，粗糙度10nm以下。
其它材料，像石英，玻璃等到，刻10um以上就有很大难度了，粗糙度也在几十nm的水平。

赞一下(1人)

5楼2017-02-28 15:20:21

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