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[求助]
求助：石墨及碳纤维材料表面氮化硅涂层的清洗方法？
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需求描述： 太阳能光伏电池片生产过程中有PECVD工序，此工序是采用石墨及碳纤维承载框搭载硅片进入等离子气相沉积室，沉积室内通过硅烷和氨气，在高压作用下在硅片表面沉积碳化硅薄层，同时，石墨及碳纤维承载框表面也会有氮化硅沉积，且沉积至一定厚度后对硅片涂层产生影响，故需要定期清理石墨及碳纤维承载框。 现需要：石墨及碳纤维承载框表面清理氮化硅涂层的方法？ [ Last edited by 冰点降温 on 2017-2-27 at 09:55 ] |
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