| 查看: 1972 | 回复: 2 | |||||
[求助]
请问：刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，为什么说污染硅基器件呢？已有1人参与
|
|
微纳工艺小白一枚，请教： 请问：为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，要和硅基器件中金属刻蚀分开？为什么说会污染？为什么说砷化镓、磷化铟脏呢？ 不明觉厉，请行家指点指点。 |
回复此楼
daerbeijita
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 16 (小学生)
- 金币: 9487.1
- 红花: 4
- 帖子: 938
- 在线: 102.9小时
- 虫号: 1467095
- 注册: 2011-10-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米