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请问：刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，为什么说污染硅基器件呢？ 已有1人参与
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微纳工艺小白一枚，请教： 请问：为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，要和硅基器件中金属刻蚀分开？为什么说会污染？为什么说砷化镓、磷化铟脏呢？ 不明觉厉，请行家指点指点。 |
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