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请问:刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺,为什么说污染硅基器件呢? 已有1人参与
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微纳工艺小白一枚,请教: 请问:为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺,要和硅基器件中金属刻蚀分开?为什么说会污染?为什么说砷化镓、磷化铟脏呢? 不明觉厉,请行家指点指点。 |
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daerbeijita
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2楼2017-02-24 23:47:08
yswyx
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