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hilary.hy

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问:刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺,为什么说污染硅基器件呢? 已有1人参与

微纳工艺小白一枚,请教:

请问:为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺,要和硅基器件中金属刻蚀分开?为什么说会污染?为什么说砷化镓、磷化铟脏呢?

不明觉厉,请行家指点指点。
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

**尚未成功,同志仍需努力
2楼2017-02-24 23:47:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

硅基半导体工艺,金属也就是铝,钛,这两种是不会造成硅材料的金属粒子沾污的。而像Au,Cu,会造成重金属沾污,造成深能级,在禁带中产生复合中心,直接导致器件失效。
而像砷,镓,铟,磷,都是常规的硅材料掺杂的元素,在刻蚀机中,会让硅表面沾污,改变硅材料的电阻率和导电性质。
这些都是基本的半导体物理的原理性知识………………
3楼2017-02-28 15:35:12
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