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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问：刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，为什么说污染硅基器件呢？
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hilary.hy

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问：刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，为什么说污染硅基器件呢？ 已有1人参与

微纳工艺小白一枚，请教：

请问：为什么刻蚀砷化镓或是磷化铟工艺，要和硅基器件中金属刻蚀分开？为什么说会污染？为什么说砷化镓、磷化铟脏呢？

不明觉厉，请行家指点指点。
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1楼 2017-02-24 16:35:26
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
刻蚀的过程中有沉积

发自小木虫Android客户端
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**尚未成功，同志仍需努力
2楼2017-02-24 23:47:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

硅基半导体工艺，金属也就是铝，钛，这两种是不会造成硅材料的金属粒子沾污的。而像Au，Cu，会造成重金属沾污，造成深能级，在禁带中产生复合中心，直接导致器件失效。
而像砷，镓，铟，磷，都是常规的硅材料掺杂的元素，在刻蚀机中，会让硅表面沾污，改变硅材料的电阻率和导电性质。
这些都是基本的半导体物理的原理性知识………………
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3楼2017-02-28 15:35:12
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