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求助平面上一凸出隔板高度的微距测量方式
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各位大神好！小弟是研究传感器的，该传感器感受部分可以看作是一个高度固定的隔板，隔板在实验壁面上凸出一定量高度来感受气流变化。 隔板凸出的高度直接影响测量结果，而因为凸出高度是微米级别（50um—100um），所以确定高度的工作比较困难。 希望各位能提供一些微米级别的微距测量方式来集思广益。隔板厚度也是微米级别，所以最好不要和隔板接触。多谢各位  |
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