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求助平面上一凸出隔板高度的微距测量方式
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倦书徐行
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专业: 微/纳机械系统
[
求助
]
求助平面上一凸出隔板高度的微距测量方式
各位大神好!小弟是研究传感器的,该传感器感受部分可以看作是一个高度固定的隔板,隔板在实验壁面上凸出一定量高度来感受气流变化。
隔板凸出的高度直接影响测量结果,而因为凸出高度是微米级别(50um—100um),所以确定高度的工作比较困难。
希望各位能提供一些微米级别的微距测量方式来集思广益。隔板厚度也是微米级别,所以最好不要和隔板接触。多谢各位
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2017-02-21 09:38:38
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Liberty911
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专业: 机械测试理论与技术
麻烦上一个原理图,这样才能推荐比较好的传感手段
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学习!工作!
3楼
2017-03-01 09:13:15
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