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wyytg

铁虫 (初入文坛)

[交流] 询问:薄膜样品种类成分含量-深度分析怎么测呢?

结构是两层膜,上层金属厚100nm,下层硅厚400um。
想知道从顶层起深度1um以内的元素种类、含量随深度变化的曲线。

用什么样的测试技术呢?
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发展才是硬道理
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yjc138139

银虫 (初入文坛)

FTIR傅里叶变换和红外光谱分析可测
2楼2009-04-29 22:12:42
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