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询问：薄膜样品种类成分含量-深度分析怎么测呢？
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结构是两层膜，上层金属厚100nm，下层硅厚400um。 想知道从顶层起深度1um以内的元素种类、含量随深度变化的曲线。 用什么样的测试技术呢？ |
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2楼2009-04-29 22:12:42