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偶然556

新虫 (正式写手)

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注册: 2013-11-10
专业: 金属基复合材料

[交流] 光刻胶已有6人参与

由于是刚接触光刻胶这一块，实验室师兄师姐都没接触过，老师也是第一次接触，所以好多问题需要请教，跪求你们进来交流交流，帮助帮助我这个小白，感觉我都快绝望了

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1楼 2017-02-17 21:53:21

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

3楼: Originally posted by 偶然556 at 2017-02-19 21:26:36
我的基底是矩形（50mm*5mm），用匀胶机怎么涂都涂不均匀，我那个胶是直接固化后直接用激光加工出凹槽来，不经过显影这些步骤，但是我发现这样加工出来的凹槽在离子液体里电铸的时候，胶貌似有点融化了，覆盖在凹槽 ...

矩形片用均胶机肯定涂敷不均匀的，越是厚的光刻胶膜越是不均匀。
1. 建议用喷胶来进行涂敷。
2. 你的光刻胶覆盖在凹槽上，不一定是光刻胶融化，也可能是激光加工的残留。你在激光加工完成后，用显微镜做一个剖面检测。看看凹槽内是否有残留。
3. 建议你采用光刻的方法来做凹槽，比较成熟，可以咨询研材微纳。激光加工的话，是直接让胶受热挥发掉的，这样直接加工金属材料的比较多，加工胶的比较少见。