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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 光刻胶
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偶然556

新虫 (正式写手)

[交流] 光刻胶 已有6人参与

由于是刚接触光刻胶这一块，实验室师兄师姐都没接触过，老师也是第一次接触，所以好多问题需要请教，跪求你们进来交流交流，帮助帮助我这个小白，感觉我都快绝望了
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1楼 2017-02-17 21:53:21
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wtt小虫

银虫 (小有名气)
神马问题

发自小木虫Android客户端
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心向往之，众口莫惧
2楼2017-02-18 16:00:58
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偶然556

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wtt小虫 at 2017-02-18 16:00:58
神马问题

我的基底是矩形（50mm*5mm），用匀胶机怎么涂都涂不均匀，我那个胶是直接固化后直接用激光加工出凹槽来，不经过显影这些步骤，但是我发现这样加工出来的凹槽在离子液体里电铸的时候，胶貌似有点融化了，覆盖在凹槽上，导致我的凹槽不导电了。因为对胶的固化工艺不懂，这问题是出在固化工艺上吗
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3楼2017-02-19 21:26:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 偶然556 at 2017-02-19 21:26:36
我的基底是矩形（50mm*5mm），用匀胶机怎么涂都涂不均匀，我那个胶是直接固化后直接用激光加工出凹槽来，不经过显影这些步骤，但是我发现这样加工出来的凹槽在离子液体里电铸的时候，胶貌似有点融化了，覆盖在凹槽 ...

矩形片用均胶机肯定涂敷不均匀的，越是厚的光刻胶膜越是不均匀。
1. 建议用喷胶来进行涂敷。
2. 你的光刻胶覆盖在凹槽上，不一定是光刻胶融化，也可能是激光加工的残留。你在激光加工完成后，用显微镜做一个剖面检测。看看凹槽内是否有残留。
3. 建议你采用光刻的方法来做凹槽，比较成熟，可以咨询研材微纳。激光加工的话，是直接让胶受热挥发掉的，这样直接加工金属材料的比较多，加工胶的比较少见。
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4楼2017-02-20 16:40:15
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Mr_den

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也是做光刻的，希望有一些交流，邮箱:dengwen120126@126.com

发自小木虫Android客户端
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5楼2017-02-20 21:32:42
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偶然556

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-02-20 16:40:15
矩形片用均胶机肯定涂敷不均匀的，越是厚的光刻胶膜越是不均匀。
1. 建议用喷胶来进行涂敷。
2. 你的光刻胶覆盖在凹槽上，不一定是光刻胶融化，也可能是激光加工的残留。你在激光加工完成后，用显微镜做一个剖面 ...

激光加工完成后，我观察过凹槽是没有残留的，因为自己没有仪器，激光加工也是叫别人给加工的，我的课题主要是微电铸，所以对这些一窍不通，如果一整套自己加工下来成本是不是也蛮高的
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6楼2017-02-21 20:19:51
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偶然556

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Mr_den at 2017-02-20 21:32:42
我也是做光刻的，希望有一些交流，邮箱:dengwen120126126.com

好啊好啊
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7楼2017-02-21 21:04:22
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wangquanhome

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PGC？
你用的正性还是负性的。平坦化？？？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2017-02-21 21:08:59
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偶然556

新虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wangquanhome at 2017-02-21 21:08:59
PGC？
你用的正性还是负性的。平坦化？？？

SU-8  负性胶
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9楼2017-02-23 15:34:19
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perry_ping

新虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我这有喷涂设备，可以试试
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10楼2017-02-27 14:18:24
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