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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问下有人做过光刻胶高温固化后做支撑层的工艺么？万分感谢！
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mearsmear

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问下有人做过光刻胶高温固化后做支撑层的工艺么？万分感谢！ 已有2人参与

想用AZ4620胶高温加热使光刻胶碳化后做支撑层，但是实验发现胶高温碳化后变形很严重，不知道各位虫友有没有相关的经历可以提供点经验参考？
或者大家有没有知道其它的材料可以用作在MEMS加工中做支撑绝缘层的？谢谢大家！
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1楼 2017-02-15 17:49:01
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mxl198616

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你可以找些耐高温，高温不变形的胶
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2楼2017-02-18 13:32:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

常见的用来做支撑的光敏型材料有SU8胶和PI，如果硬度要求高，可以用BCB。
4620肯定不行，温度升高首先就化掉了。
你可以写邮件给研材微纳，来帮你选一款合适的材料。
你自己做光刻吗？支撑绝缘的这个材料在什么条件下使用？机械强度和耐温方面有什么具体的要求，最好把使用的需求说清楚。
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3楼2017-02-20 17:31:48
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1848659459

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by mearsmear at 2017-02-15 17:49:01
想用AZ4620胶高温加热使光刻胶碳化后做支撑层，但是实验发现胶高温碳化后变形很严重，不知道各位虫友有没有相关的经历可以提供点经验参考？
或者大家有没有知道其它的材料可以用作在MEMS加工中做支撑绝缘层的？谢谢 ...

这个问题很好解决的，你加我q

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4楼2017-08-22 19:27:52
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dolphindog

新虫 (初入文坛)
一般的光刻胶肯定不能用来做桥接啊，多采用PI嘛~
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5楼2018-02-28 11:42:35
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