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请问下有人做过光刻胶高温固化后做支撑层的工艺么？万分感谢！ 已有2人参与
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想用AZ4620胶高温加热使光刻胶碳化后做支撑层，但是实验发现胶高温碳化后变形很严重，不知道各位虫友有没有相关的经历可以提供点经验参考？ 或者大家有没有知道其它的材料可以用作在MEMS加工中做支撑绝缘层的？谢谢大家！ |
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