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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 管式炉上的等离子体装置可以用来等离子体刻蚀吗？
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挽歌_

新虫 (初入文坛)

[求助] 管式炉上的等离子体装置可以用来等离子体刻蚀吗？ 已有1人参与

实验室的管式炉加装了一套射频等离子体装置，平时是用来等离子体处理粉末用的。我查阅了一些资料，等离子刻蚀装置是有两套射频电源，第一套用来产生等离子体，另一套产生偏压来调整刻蚀速率。那我们这套设备只有第一套用来产生等离子体的电源，可否用于薄膜的等离子刻蚀呢？如果不可以，需要进行怎样的改装呢？@TXJ2013@小_包子
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1楼 2017-02-11 12:46:44
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

刻蚀设备的话，是有两套电源的，功能性不同，所以建议楼主还要采购一套射频电源
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QQ：1723046531
2楼2017-02-28 16:14:07
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