| 查看: 1018 | 回复: 1 | ||
[求助]
管式炉上的等离子体装置可以用来等离子体刻蚀吗？ 已有1人参与
|
| 实验室的管式炉加装了一套射频等离子体装置，平时是用来等离子体处理粉末用的。我查阅了一些资料，等离子刻蚀装置是有两套射频电源，第一套用来产生等离子体，另一套产生偏压来调整刻蚀速率。那我们这套设备只有第一套用来产生等离子体的电源，可否用于薄膜的等离子刻蚀呢？如果不可以，需要进行怎样的改装呢？@TXJ2013@小_包子 |
回复此楼» 猜你喜欢
香港科技大学（广州）诚招电催化方向博士生（2026秋入学）
已经有0人回复
-
临港国家实验室与上科大联合培养博士2026招生一名
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有196人回复
-
想读985的博 没有地域要求 求推荐 求收留 一作SCI×4
已经有1人回复
-
法国斯特拉斯堡大学招CSC攻读博士-超分子化学、高分子科学和有机化学合成背景
已经有0人回复
-
求助Cu2+1O的CIF文件(PDF: 05-0667)
已经有1人回复
-
色粉析出问题
已经有1人回复
-
KAUST（阿卜杜拉国王科技大学）MXene 器件方向博士后招聘
已经有0人回复
-
沙特阿拉伯阿卜杜拉国王科技大学（KAUST）电池方向博士后招聘
已经有0人回复
-
有机硅改性硅油
已经有0人回复
2楼2017-02-28 16:14:07