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管式炉上的等离子体装置可以用来等离子体刻蚀吗？ 已有1人参与
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| 实验室的管式炉加装了一套射频等离子体装置，平时是用来等离子体处理粉末用的。我查阅了一些资料，等离子刻蚀装置是有两套射频电源，第一套用来产生等离子体，另一套产生偏压来调整刻蚀速率。那我们这套设备只有第一套用来产生等离子体的电源，可否用于薄膜的等离子刻蚀呢？如果不可以，需要进行怎样的改装呢？@TXJ2013@小_包子 |
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2楼2017-02-28 16:14:07