应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 光刻间去胶返工的清洗槽温度和时间？
41/1返回列表
查看: 1344  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

绿叶子1990

铁虫 (初入文坛)

[求助] 光刻间去胶返工的清洗槽温度和时间？ 已有2人参与

去年开始半导体工作，现在正在进行新项目，用到正胶，需要对光刻间的晶片进行去胶返工，现在用的去胶液的成分主要是NMP(N-甲基吡咯烷酮，70-80%)，和1,2-丙二醇（20-30%）。我想问的是去胶液所用温度和时间大致是多少啊？因为我从来没做过，没有经验。所以想请教有经验的人来指点迷津。谢谢啦!
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-02-07 14:05:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

光刻电子

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
绿叶子1990: 金币+3, ★有帮助 2017-02-17 09:35:14
本帖内容被屏蔽
2楼2017-02-07 15:15:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

绿叶子1990

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-02-07 15:15:49
这个要看你用的是哪款正胶，正胶的类型也有很多种。
其次，去胶本身是一个比较简单的工艺，在半导体工艺里面其实属于设备成本较低的工艺。
主要成本是辅料成本，即CHEMICAL.
关于温度和时间，其实也没有太精确的 ...

我上面用的去胶液写错了，应该是KOH溶液，对光刻间的片子去胶返工。我困惑的是，碱液可以洗掉曝光部分的胶，但是片子上还有没有曝光的部分，用碱液能洗掉吗？需要的时间会很长吧？
赞一下 回复此楼
3楼2017-02-17 09:38:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

地咕噜球

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 绿叶子1990 at 2017-02-17 09:38:55
我上面用的去胶液写错了，应该是KOH溶液，对光刻间的片子去胶返工。我困惑的是，碱液可以洗掉曝光部分的胶，但是片子上还有没有曝光的部分，用碱液能洗掉吗？需要的时间会很长吧？...

片子上没曝光的的部分可可以用浓碱液洗掉，10s~20s就可以直接泡掉，但是浓碱液对硅片的伤害很大，如果基底要求高的话就不要用了

可以用丙酮去胶，大概也是10s~20s就可以去掉，一进液体就可以看到泡掉的胶了，自己掌握时间就行

PS：你是要去除胶重新做实验吗？
赞一下 回复此楼
4楼2017-04-08 19:24:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 绿叶子1990 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 26药学专硕105500求调剂 +7 喽哈加油 2026-04-13 8/400 2026-04-19 20:21 by Equinoxhua
[考研] 297，工科调剂? +11 河南农业大学-能 2026-04-14 11/550 2026-04-19 20:07 by Equinoxhua
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 307中医考研调剂 +9 于以采蘩 2026-04-14 9/450 2026-04-19 08:41 by 烟雨流涯
[考研] 294求调剂 +15 淡然654321 2026-04-15 15/750 2026-04-19 08:20 by cuisz
[考研] 297，工科调剂? +5 河南农业大学-能 2026-04-14 5/250 2026-04-18 15:17 by Equinoxhua
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[考博] 申博/考博 +3 啃面包的小书虫 2026-04-17 4/200 2026-04-17 23:54 by 阳阳阳^_^
[考研] 一志愿华中农业071010，320求调剂 +17 困困困困坤坤 2026-04-14 19/950 2026-04-17 20:08 by 关一盏灯cd
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿中科大材料与化工，353分还有调剂学校吗 +10 否极泰来2026 2026-04-15 12/600 2026-04-17 17:54 by mapenggao
[考研] 295分求调剂 +5 ?要上岸? 2026-04-17 5/250 2026-04-17 16:51 by fenglj492
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
[考研] 297，工科调剂?河南农业大学本科 +14 河南农业大学-能 2026-04-14 14/700 2026-04-16 14:41 by dingyanbo1
[考研] 297工科调剂? +14 河南农业大学-能 2026-04-13 15/750 2026-04-15 13:25 by 黑科技矿业
[考研] 各位老师好，求调剂，本科211，一志愿天津大学生物与医药学硕，差两名录取。 +11 路六六jjj 2026-04-13 11/550 2026-04-14 16:01 by zs92450
[考研] 085408光电信息工程专硕355一志愿长春光机所调剂 +6 王ymaa 2026-04-13 13/650 2026-04-14 11:33 by 王ymaa
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭