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硅片涂膜 已有1人参与
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| 将聚合物溶解在邻二氯苯中，旋涂在硅片涂膜过程中，发现涂膜很不均匀。查资料说由于硅片表面能低，旋涂不上去。请教各位怎么提高硅片表面能？具体步骤是什么，或者怎么处理硅片，求教求教？？？？ |
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