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硅片涂膜已有1人参与
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| 将聚合物溶解在邻二氯苯中,旋涂在硅片涂膜过程中,发现涂膜很不均匀。查资料说由于硅片表面能低,旋涂不上去。请教各位怎么提高硅片表面能?具体步骤是什么,或者怎么处理硅片,求教求教???? |
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