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467111170

银虫 (初入文坛)

[求助] 在线的椭偏仪和QCM监测膜厚,有什么区别吗?已有1人参与

如题,QCM和椭偏仪在做沉积时监测膜厚,有什么区别吗?优缺点都有什么?
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zzccwwok

禁虫 (小有名气)

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5楼2017-02-05 08:48:19
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BiolinChina

木虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
467111170: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2017-01-10 09:12:38
椭偏是光学方法,qcm是声学方法,椭偏检测的是干质量,QCM可以检测吸附物质和其耦合的水的湿质量
2楼2017-01-05 09:34:48
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467111170

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by BiolinChina at 2017-01-05 09:34:48
椭偏是光学方法,qcm是声学方法,椭偏检测的是干质量,QCM可以检测吸附物质和其耦合的水的湿质量

问下这两个的测量精度有什么区别吗?
3楼2017-01-06 09:41:02
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BiolinChina

木虫 (正式写手)


椭偏仪的测量厚度精度在1埃甚至更小,QCM稍微要差点但也在纳米级左右。
4楼2017-01-23 09:59:46
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