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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 在线的椭偏仪和QCM监测膜厚，有什么区别吗？
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467111170

银虫 (初入文坛)

[求助] 在线的椭偏仪和QCM监测膜厚，有什么区别吗？ 已有1人参与

如题，QCM和椭偏仪在做沉积时监测膜厚，有什么区别吗？优缺点都有什么？
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1楼 2017-01-04 15:53:21
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BiolinChina

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
467111170: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2017-01-10 09:12:38
椭偏是光学方法，qcm是声学方法，椭偏检测的是干质量，QCM可以检测吸附物质和其耦合的水的湿质量
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2楼2017-01-05 09:34:48
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467111170

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by BiolinChina at 2017-01-05 09:34:48
椭偏是光学方法，qcm是声学方法，椭偏检测的是干质量，QCM可以检测吸附物质和其耦合的水的湿质量

问下这两个的测量精度有什么区别吗？
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3楼2017-01-06 09:41:02
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BiolinChina

木虫 (正式写手)
椭偏仪的测量厚度精度在1埃甚至更小，QCM稍微要差点但也在纳米级左右。
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4楼2017-01-23 09:59:46
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zzccwwok

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2017-02-05 08:48:19
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E-wiary

新虫 (初入文坛)
您好，有关椭偏仪与椭偏测量技术的华科大的机械科学与自动化学院在这一块在国内应该算是最有经验的。希望会对您工作有帮助！

发自小木虫Android客户端
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6楼2017-02-05 09:09:11
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