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xilinpingan新虫 (初入文坛)
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[求助]
加工亚波长金属光栅基底选用ZnSe如何采购？ 已有1人参与
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| 如题，课题需要做这个，但是我不知道基底材料尺寸怎么选。对应长波红外波段，我是选择了ZnSe, 但是看网上搜ZnSe都是卖窗口片或者叫Wafer的，wafer会影响我光栅的偏振性能吗？另外窗口片可以吗，3mm厚度会不会太厚？ |
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xilinpingan
新虫 (初入文坛)
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3楼2017-01-10 11:02:36
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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【答案】应助回帖
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ZnSe晶体是常见的长波红外透射材料。 所谓的窗口片和wafer是类似的，只是行业不同，叫法不同。一般来说，wafer可能会薄一些。 对于做光栅，只要材料一样，叫wafer也好，窗口片也好，都是一样的。麻烦的在于后续的工艺，比如光刻，要求你的衬底不能太厚，太厚了光刻机进不去。3mm比较厚，但是刚好能满足光刻的要求，再厚就麻烦了。 另外，要注意一点，就是一般窗口片时有增透膜的，这个对你的光栅有什么影响，对你后面做光刻和长金属的工艺有什么影响，你要考虑清楚。 还有，做金属光栅，你要做光刻，最好是先用硅片来做样品，然后再上ZnSe晶体做正式片。你们有自己光刻和做金属的能力吗？ |
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2楼2017-01-03 16:04:43